• CIF中試型等離子清洗機CPC-12系列

      CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中試生產、模擬生產條件的等離子體清洗設備,幾乎具備等離子體清洗設備所有的功能。具有較大的腔體尺寸和樣品處理面積,使用成本低,性價比高,易維護,處理快速高效,特別適合于大學,科研院所和光電企業實驗室小批量中試生產。
    1. 詳細信息

    產品特點:

    PLC工控機控制整個清洗過程,全自動進行。

    7寸彩色觸摸屏互動操作界面,實時工作參數狀態直觀顯示。

    手動、自動兩種工作模式。

    數字流量計控制,控制更準確

    符合人體功能學的60度傾角操作界面設計,操作方便,界面友好。

    頂置真空倉,上開蓋設計下壓式鉸鏈開關方式

    上置式360度自由水平取放樣品托盤設計,符合人體功能學,操作更方便。

    有效處理面積大,可處理8寸硅片去膠等應用。

    可處理不同幾何形狀、表面不同粗糙程度的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等樣品,進行清洗和改性。

    安全保護,倉門打開,自動關閉電源。

    技術參數:

    型號

    CPC-12

    CPC-12plus

    艙體尺寸

    H120xΦ370mm  

    H120xΦ370mm

    艙體容積

    12.8L

    12.8L

    射頻電源

    40KHz

    13.56MHz

    匹配器

    自動匹配

    自動匹配

    射頻功率

    10-300W可調

    10-300W可調

    氣體控制

    質量流量計(MFC)(標配單路,可選雙路)

    最大處理尺寸

    Φ370mm圓盤

    產品尺寸

    L618xW520xH465mm

    包裝尺寸

    L750xW640xH570mm

    時間設定

    1-99分59秒

    真空泵

    抽速約8m3/h

    氣體穩定時間

    1分鐘

    真空度

    100pa以內

    AC220V 50-60Hz  

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