• CIF透射電鏡樣品桿清洗機

      CIF透射電鏡(TEM)樣品桿清洗機采用雙等離子清洗源設計,自動切換,一機多用,清洗快速高效。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏用途。
    1. 詳細信息


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    產品特點

    雙等離子清洗源

    一機多用

    快速高效低損傷

     

    技術參數

    產品型號

    CIF-TEM

    等離子電源

    13.56MHz等離子射頻電源,射頻功率5-150W可調


    遠程等離子源,自動匹配器

    清洗室

    清洗室尺寸(長X寬X高)Φ150XH150mm

    清洗數量

    可同時清洗3支TEM樣品桿

    適配品牌

    THERMO FISHERFEI)、日立HITACHI、捷歐路JEOL

    氣體控制

    標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。50毫升/分自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

    氣源選擇

    根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

    真空控制

    質量流量計(MFC)美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

    真空保證

    真空計和電磁閥安全互鎖

    操控方式

    7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

    電源

    220V,50/60Hz,300W

    質量保證

    二年質保,終身維護

    真空泵

    Agilent 、IDP-3渦輪式真空干泵


    最大入口壓力1.0個大氣壓(0psig),最大出口壓力1.4個大氣壓(6.5psig)


    最高抽速60L/min,極限真空3.3 x 10-1 mbar


    KF16入口接口



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